與擴散噴射泵相比，油擴散泵的抽氣量和最大出口壓力要低得多，所以泵的加熱功率也比較低。油擴散泵的鍋爐直徑通常等于（或小于）泵口直徑。抽速大于500L/S的油擴散泵鍋爐的熱負荷不超過2-2.5W/cm2.
在油擴散泵中，油蒸發(fā)所損耗的功率通常為總功率的60%-70%，其余部分為補償各種熱損失的功率。在擴散泵中損失主要有以下幾個方面：從加熱器表面經(jīng)過鍋爐壁向外界的熱傳導(dǎo)（占20%-25%）；沿泵壁從熱的鍋爐向內(nèi)冷的泵體的熱傳導(dǎo)（占10%-15%）；從導(dǎo)流管表面向泵壁的輻射和氣體與蒸汽的混合物從導(dǎo)流管向泵壁的熱傳導(dǎo)（5%-10%）。如果泵的結(jié)構(gòu)比較好，則熱損耗可降到總功率的10%-15%。例如，對泵的加熱器和鍋爐進行絕熱保溫，可以明顯地降低熱損耗。如果采用封閉式加熱器，鍋底底面和加熱器之間沒有空氣層存在，則加熱功率可以很好地利用。